《真空科学与技术学报》杂志的收稿方向主要包括：综述评述、研究快报、研究论文等。
该杂志收稿方向广泛，涵盖了工业的多个重要领域和前沿话题，为工业工作者和研究者提供了一个交流和分享学术成果的重要平台。
《真空科学与技术学报》杂志投稿要求
（1）若论文课题为基金资助项目，请附基金名称、课题名称和编号。
（2）来稿通过电子邮件（WORD文档附件）发送，来稿不退。
（3）稿件文责自负，务求原创作品，严禁剽窃、抄袭行为。
（4）正文要求主题明确、论点新颖、论据可靠、语言简练、具可读性。
（5）参考文献：参考文献以作者亲自阅读过的近5 年文献为主，一般不少于15 条，文献按顺序编码制著录。
《真空科学与技术学报》杂志是由中国科学技术协会主管和中国真空学会主办的学术理论期刊，创刊于1981年，国内外公开发行，国际刊号ISSN为1672-7126，国内刊号CN为11-5177/TB，该杂志级别为北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊，预计审稿周期为1-3个月。
真空科学与技术学报杂志数据统计
真空科学与技术学报主要引证文献期刊分析
该杂志在学术界具有较高的影响力，多次获得国内外权威奖项，如中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库（CJFD）、中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊、中国科技期刊优秀期刊、北大图书馆收录期刊等。
在收录方面，《真空科学与技术学报》杂志被多个知名数据库收录，包括：北大期刊(中国人文社会科学期刊)、CSCD 中国科学引文数据库来源期刊(含扩展版)、统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)、知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、CA 化学文摘(美)、JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等，在工业领域具有较高的学术价值和影响力，是工业研究者和实践者的重要参考刊物。
真空科学与技术学报杂志发文分析
真空科学与技术学报主要机构发文分析
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 163 | 溅射；磁控；光学；磁控溅射；纳米 |
| 合肥工业大学 | 158 | 真空泵；真空；螺杆真空泵；纳米；有限元 |
| 东北大学 | 140 | 溅射；抽气；磁控；磁控溅射；真空泵 |
| 中国科学院电子学研究所 | 139 | 行波管；速调管；螺旋线；慢波；注波互作用 |
| 清华大学 | 118 | 溅射；磁控；磁控溅射；离子束；太阳能电池 |
| 大连理工大学 | 118 | 等离子体；溅射；合金；磁控；磁控溅射 |
| 西安交通大学 | 111 | 显示器；等离子体显示；等离子体显示器；电子发射；磁控 |
| 昆明理工大学 | 107 | 真空蒸馏；真空；碳热还原；热还原；真空碳热还原 |
| 浙江大学 | 106 | 磁控；磁控溅射；溅射；化学气相；化学气相沉积 |
| 兰州空间技术物理研究所 | 99 | 推力；推力器；光学；航天；月球 |
